TFT LCD 의 Scribing 공정 후 발생하는 Burr in, Burr out, Broken 등을 검사함과 동시에 Patten의 결함까지 검사하여 완제품 조립시 발생하는 불량을 사전에 방지하는 시스템
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구분 |
내용 |
| Camera |
1.3M (1360 x 1024) |
| Lens |
50mm |
| Light |
Back Light (Red) |
| FOV (mm) |
15 (H) x 11.2 (V) |
| Pixel resolution |
11 um |
| Inspection Item |
Burr, Chip, Broken, Dimension |
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